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“做完了!然后呢!”
不出几分钟,陈深就制作好了一块。
张明瑞心里感叹着,不愧是天才,真的是一点就透,教一遍就会啊!
“那不是还有吗?
我现在要去清洗一下,你把那几个弄好了带过来,我教你清洗!”
张明瑞那么的说道,准备好两盆溶液,将制绒好的硅晶片,放进去,反反复复!
大约过了二十分钟,陈深带着制绒好的硅晶片过来了。
“怎么洗!”
陈深冷冷的问道。
“水洗→碱洗→水洗→酸洗→水洗→吹干。”
“就这么一个步骤,按照顺序来就可以了。”
张明瑞淡淡的说道,把硅晶片放入了溶液中,进行清洗。
“清洗好后!将磷原子向硅中扩散,制得N型半导体。”
这一步还是非常简单的,张明瑞放在机器台上,一拉一拽,就成功完成了扩散。
“然后是刻蚀薄膜技术!”
“采用背靠背的单面扩散方式,硅片的侧边和背面边缘不可避免地都会扩散上磷原子。”
“刻蚀工序是让硅片边缘带有的磷的部分去除干净,避免了P—N结短路并且造成并联电阻降低。”
“刻蚀碱槽的作用是为了抛光未制绒面,使电池片变得光滑。”
“而我们要用的方法,就是干法刻蚀!”
张明瑞淡淡的说道,拿出了光刻蚀机。
对于制作芯片时,使用了好几次薄膜技术的张明瑞,已经不是什么难事了。
“干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀。”
“当气体以等离子体形式存在时,一班会出现两种方面。”
张明瑞一边演示,一边给陈深讲解着。
“一方面是,等离子体中的气体化学活性会变得相对较强,选择合适的气体,就可以让硅片更快速的进行反应,实现刻蚀。”
“另一方面,可利用电场对等离子体进行引导和加速,使等离子体具有一定能量。”
“当轰击硅片的表面时,硅片材料的原子击出,可以达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。”
“这两种方法,无论你想使用哪个,都是可以的。
只不过我推荐的话,第一个方法更简单更快速!”
张明瑞淡淡的说道,将硅晶片都投入到了一个密闭的容器中,拧开阀门,向容器中传输气体!
“第二种……”
“当然,如果你喜欢第二种,也不是不可以做!”
张明瑞打断了陈深没有说完的话,陈深想要说的,他怎么可能不知道。
陈深张了张嘴,又闭上了,他又能说什么呢?
“看!它们已经开始发生反应了!”
“这个方法,相比较于其他的,安全性也会高很多。”
张明瑞淡淡的说道,接下来,他们只要安静的等待就好了,等它们反应完,就可以做下一步了。
趁着这个空挡!张明瑞也没闲着,又继续组装着他的监控器!
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